PAULA CRISTINA DA SILVA FRANÇA GOMES PEREIRA - Produção científica - Universidade Lusófona

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2004
Optimisation of a home-made RIE system - Effect of SF₆ plasma on the properties of partially etched a-Si:H films
Pereira, P., Lavareda, G., Do Rego, A. M. B., Amaral, A. & De Carvalho, C. N., 2004, Em: Materials Science Forum. 455-456, p. 124-127 4 p.
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